Analysis of high resolution transmission electron microscope images of crystalline–amorphous interfaces

Author:

Borgardt N.I.,Plikat B.,Seibt M.,Schröter W.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Instrumentation,Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference34 articles.

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3. R. Chau, J. Kavalieros, B. Roberds, R. Schenker, D. Lionberger, D. Barlage, B. Doyle, R. Arghavani, A. Murthy, G. Dewey, 30nm Physical Gate Length CMOS Transistors with 1.0ps n-MOS and 1.7ps p-MOS Gate Delays, IEEE Conference On Electronic Devices and Materials, San Fransisco, December 2000.

4. Surface roughness at the Si(100)-SiO2interface

5. Si→SiO2transformation: Interfacial structure and mechanism

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