Improvement of instrumentation consistency using DUV filter in Spectroscopic Ellipsometry
Author:
Publisher
Elsevier BV
Reference7 articles.
1. Spectroscopic ellipsometry: principles and applications;Fujiwara,2007
2. Data analysis for spectroscopic ellipsometry;Jr;Thin Solid Films,1993
3. Ultraviolet ozone oxidation of si surface studied by photoemission and surface infrared spectroscopy;Niwano;J Vac Sci Technol A,1992
4. Vacuum-ultra-violet and ozone induced oxidation of silicon and silicon-germanium;Boyd;Jpn J Appl Phys,1993
5. Room temperature oxidation enhancement of porous si (001) using ultraviolet–ozone exposure;Thompson;J Appl Phys,1996
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