Defocus correction for angle-resolved scatterometry using waveguide-based surface plasmon resonance

Author:

Yang Dekun,Shu TanORCID,Li Lijie,Shen Wei,Gui Chengqun,Song YiORCID

Publisher

Elsevier BV

Reference25 articles.

1. Scatterometry-fast and robust measurements of nano-textured surfaces;Madsen,2016

2. Solving the inverse grating problem by white light interference Fourier scatterometry;Ferreras Paz;Light Sci. Appl.,2012

3. Model-based characterisation of complex periodic nanostructures by white-light Mueller-matrix Fourier scatterometry;Gödecke;Light Adv. Manuf.,2021

4. Linewidth measurement on IC masks and wafers by grating test patterns;Kleinknecht;Appl. Opt.,1980

5. A new flexible scatterometer for critical dimension metrology;Wurm;Rev. Sci. Instrum.,2010

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