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Chemical vapour deposition diamond coated microtools for grinding, milling and drilling

  • Published:2000-04 Issue:3-6 Volume:9 Page:921-924
  • ISSN:0925-9635
  • Container-title:Diamond and Related Materials
  • language:en
  • Short-container-title:Diamond and Related Materials

Author:

Gäbler Jan,Schäfer Lothar,Westermann Heinz

Publisher

Elsevier BV

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Materials Chemistry,Mechanical Engineering,General Chemistry,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference9 articles.

1. Machining of a monolithic silicon X-ray interferometer: a challenge for manufacturing;Dettmer;Conference 5,1995

2. Direct fabrication of deep X-ray lithography masks by micromechanical milling;Friedrich;Precision Engineering,1998

3. Coatings give machine tools a harder edge;Schäfer;Vacuum Solutions,1998

4. Hot-filament deposition of diamond;Klages,1998

5. 3-d micromachining of single crystal silicon;Hoffmeister,1999

Cited by 46 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

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