Beam-power heating effect on the synthesis of graded composition epitaxial Si1−xGex alloy layers

Author:

Curello G.,Gwilliam R.,Harry M.,Jackson S.,Sealy B.J.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Instrumentation,Nuclear and High Energy Physics

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1. The Impact of Boron Halo on Phosphorus Junction Formation and Stability;Electrochemical and Solid-State Letters;2008

2. Electrical activation of solid-phase epitaxially regrown ultra-low energy boron implants in Ge preamorphised silicon and SOI;Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms;2005-08

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