Silicon and Related Materials
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Publisher
Elsevier
Reference116 articles.
1. Stress in chemically vapor-deposited silicon films;Adamczewska;Thin Solid Films,1984
2. Process-dependent thin-film thermal conductivities for thermal CMOS MEMS;von Arx;J. MEMS,2000
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5. Effects of humidity on stress in thin silicon dioxide films;Blech;J. Appl. Phys.,1982
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1. Performance analysis of CuInSe2 based solar cells using SCAPS-1D;Materials Today: Proceedings;2022
2. Crystallographic effects in modeling fundamental behavior of MEMS silicon resonators;Microelectronics Journal;2013-07
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