Low-Temperature Growth of Epitaxial Barium Titanate Thin Films by Irradiation of Low-Energy Positive Oxygen Ions
Author:
Publisher
Elsevier
Reference8 articles.
1. Thin Film Growth of YBa2Cu3O7-xby ECR Oxygen Plasma Assisted Reactive Evaporation
2. Synthesis of CuO films using mass‐separated, low‐energy O+ion beams
3. Ion-assisted low-temperature (≤ 150 °C) epitaxial growth of TiN on Cu by reactive magnetron sputter deposition
4. Structures and electrical properties of barium strontium titanate thin films grown by multi-ion-beam reactive sputtering technique
5. Formation of artificial BaTiO3/SrTiO3superlattices using pulsed laser deposition and their dielectric properties
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