Deposition and characterization of (Ti, Al)N coatings deposited by thermal LPCVD in an industrial reactor

Author:

Uny Florent,Achache Sofiane,Lamri Salim,Ghanbaja Jaafar,Fischer Evelyne,Pons Michel,Blanquet Elisabeth,Schuster Frederic,Sanchette Frederic

Funder

Groupement d'Intérêt Public Haute-Marne

Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Publisher

Elsevier BV

Subject

Materials Chemistry,Surfaces, Coatings and Films,Surfaces and Interfaces,Condensed Matter Physics,General Chemistry

Reference26 articles.

1. Aluminium–Nitrogen–Titanium;Tomashik,2005

2. Phase equilibria, thermodynamics and microstructure simulation of metastable spinodal decomposition in c–Ti1−xAlxN coatings;Zhou;Calphad,2017

3. Anharmonicity Changes the solid Solubility of a Random Alloy at High Temperatures;Shulumba,2015

4. Estimation of formation enthalpies for transition metal mono nitrides, carbides, oxides;Stolten;J. Chim. Phys.,1993

5. Depot Chimique en Phase Vapeur de Couches Minces de (Ti,Al)N à Composition Variable;Anderbouhr,1999

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