XPS study of siloxane plasma polymer films

Author:

Balkova R.,Zemek J.,Cech V.,Vanek J.,Prikryl R.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Materials Chemistry,Surfaces, Coatings and Films,Surfaces and Interfaces,Condensed Matter Physics,General Chemistry

Reference6 articles.

1. Preparation of siloxane-like films by glow discharge polymerization

2. Plasma Polymerization;Yasuda,1985

3. Plasma Deposition, Treatment, and Etching of Polymers;Wrobel,1990

4. Plasma Processing of Polymers;Segui,1997

5. Handbook of X-Ray Photoelectron Spectroscopy;Moulder,1992

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