OVERVIEW OF OHMIC-CONTACT FORMATION ON N-TYPE GaAs BY LASER AND ELECTRON BEAM ANNEALING

Author:

Eckhardt Gisela

Publisher

Elsevier

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1. Formation of Ohmic contacts to n-GaAs using ion beam mixing of Tellurium;Applied Physics A Solids and Surfaces;1992-06

2. GaAs Technology;GaAs Devices and Circuits;1987

3. Fabrication and Characterization of Metal-Semiconductor Schottky Barrier Junctions;Metal-Semiconductor Schottky Barrier Junctions and Their Applications;1984

4. Rapid Annealing of GaAs and Related Compounds;MRS Proceedings;1984

5. CW-CO2-Laser Alloying of Au-Ge-Ni Ohmic Contacts on GaAs;Ion Implantation: Equipment and Techniques;1983

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