1. Fabrication of microstructures with high aspect ratios and great structural heights by synchrotron radiation lithography, galvanoforming, and plastic moulding (LIGA process);Becker;Microelectronic Engineering,1986
2. W. Schomburg, P. Bley, H. Baving: Ti- and Be-X-ray masks with alignment windows for the LIGA process, this volume.
3. Movable microstructures manufactured by the LIGA-process as basic elements for microsystems;Mohr,1990
4. Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlägen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugung sgitter;Anderer,1990
5. Untersuchungen an mikrostrukturierten Bandpaβfiltern für das ferne Infrarot und ihre Herstellung durch Röntgentiefenlithographie und Mikrogalvan onoformung;Ruprecht,1990