VHF band-pass filter based on a single CMOS-MEMS doubleended tuning fork resonator

Author:

Lopez J.L.,Verd J.,Uranga A.,Murillo G.,Giner J.,Marigó E.,Torres F.,Abadal G.,Barniol N.

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Medicine

Reference9 articles.

1. Lin L, Nguyen C T C, Howe R T and Pisano A P Microelectromechanical filters for signal processing. In MEMS '92 pp 226-31

2. Bannon F D, Clark J R and Nguyen C T C High-Q HF microelectromechanical filters J. Solid-State Circuits, 35 (4) 512-526

3. Yan J, Seshia A A, Phan K L and van Beek J T M Mechanical phase inversion for coupled Lamé mode resonator array filter. In: MEMS'2008,

4. arrow Bandwidth Single-Resonator MEMS Tuning Fork Filter;Yan,2007

5. Internal electrical phase inversion for FF-beam resonator arrays and tuning fork filters;Yan,2008

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