Study of Low Energy (50 keV) Silicon Negative ion Implantation in GaAs
Author:
Publisher
Elsevier BV
Subject
General Medicine
Reference21 articles.
1. Negative-ion implantation technique
2. J. Ishikawa, surface and coating technology 65 (1994) 64 - 70
3. Surface modification by negative-ion implantation
4. Carbon negative ion implantation into silicon
5. H. Tsauji, N. Arai, N. Gotoh, T. Minotani, T. Ishibashi, T. Okumine, K. Adachi, H. Kotaki, Y. Gotoh , J. Ishikawa, surface and coating technology 201 (2007) 8516-8520
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