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Deposition rate distribution in a rotatable cylindrical cathode system

  • Published:1992-01 Issue:1-2 Volume:207 Page:319-323
  • ISSN:0040-6090
  • Container-title:Thin Solid Films
  • language:en
  • Short-container-title:Thin Solid Films

Author:

Belkind A.,Gerristead W.,Orban Z.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Materials Chemistry,Metals and Alloys,Surfaces, Coatings and Films,Surfaces and Interfaces,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference15 articles.

1. Proc. 32nd Annu. Technical Conf., Society of Vacuum Coaters;Hofmann,1989

2. Proc. 33rd Annu. Technical Conf., Society of Vacuum Coaters;Barney,1990

3. Proc. 33rd Annu. Technical Conf., Society of Vacuum Coaters;McBride,1990

4. Deposition Technologies for Films and Coatings;Thornton,1982

5. Vacuum Deposition of Thin Films;Holland,1970

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