Uncertainty analysis of slot die coater gap width measurement by using a shear mode micro-probing system

Author:

Ito So,Chen Yuan-Liu,Shimizu Yuki,Kikuchi Hirotaka,Gao Wei,Takahashi Kazuhiko,Kanayama Toshihiko,Arakawa Kunmei,Hayashi Atsushi

Funder

Japan Society for the Promotion of Science

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Engineering

Reference11 articles.

1. Mitsubishi Material http://www.mmc-slotdie.com/.[Accessed June, 2015].

2. Manning B, The Use of Non-Contact Thin Gap Sensors in Controlling Coater Gap Uniformity, Capacitec, Inc., 2012.

3. Slit width measurement of a long precision slot die;Furukawa;J. Jpn. Soc. Precis. Eng.,2003

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5. New concept of a 3D-probing system for micro-components;Liebrich;CIRP Ann.—Manuf. Technol.,2010

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