Simple high-performance power sensor using μc-Si:Ge thin films

Author:

Kodato Setsuo

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Engineering

Reference4 articles.

1. Thin-film thermoelectric transducer for measurements of low level between 0 and 11 GHz;Koike;Proc. IEE,1974

2. Si-Ge alloy film with very high electrical conductivity and thermoelectric power;Kodato;J. Non-Cryst. Solids,1985

3. Critical volume fraction of crystallinity for conductivity percolation in phosphorus-doped Si:F:H alloys;Tsu;Appl. Phys. Lett.,1982

4. μc:Si:H:F thermopile power sensors;Kodato;Proc. SPIE, Amorphous Semiconductors for Microelectronics,1986

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