Correlation of process parameters and properties of TiO2 films grown by ion beam sputter deposition from a ceramic target

Author:

Bundesmann Carsten,Lautenschläge Thomas,Spemann Daniel,Finzel Annemarie,Mensing Michael,Frost Frank

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

Condensed Matter Physics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference70 articles.

1. Sputtering by particle bombardment: experiments and computer calculations from threshold to MeV energies, edited by R. Behrisch, W. Eckstein (Springer, Berlin, 2007)

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