1. Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, Hahn-Meitner-Platz 1, 14109 Berlin, Germany.
2. Institute of Smart Sensors, Universität Stuttgart, 70569 Stuttgart, Germany.
3. Institute for Microelectronics Stuttgart (IMS CHIPS), Allmandring 30a, 70569 Stuttgart, Germany.
4. Center for Integrated Quantum Science and Technology (IQST), Stuttgart and Ulm, Germany.
5. Berlin Joint EPR Laboratory, Fachbereich Physik, Freie Universität Berlin, 14195 Berlin, Germany.