Device Fabrication by Scanned Probe Oxidation

Author:

Dagata John A.

Publisher

American Association for the Advancement of Science (AAAS)

Subject

Multidisciplinary

Reference25 articles.

1. SCANNING TUNNELING MICROSCOPY;BINNIG G;HELVETICA PHYSICA ACTA,1982

2. CAMPBELL P.M., APPL PHYS LETT 66, 1308 (1995).

3. MODIFICATION OF HYDROGEN-PASSIVATED SILICON BY A SCANNING TUNNELING MICROSCOPE OPERATING IN AIR;DAGATA J.A.;APPLIED PHYSICS LETTERS,1990

4. DAGATA J.A., DEC IND APPL SCANN P (1994).

5. INTEGRATION OF SCANNING TUNNELING MICROSCOPE NANOLITHOGRAPHY AND ELECTRONICS DEVICE PROCESSING;DAGATA J.A.;JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS,1992

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