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High-throughput micromachining with ultrashort pulsed lasers and multiple spots

  • Published:2020-02 Issue:1 Volume:32 Page:012003
  • ISSN:1042-346X
  • Container-title:Journal of Laser Applications
  • language:en
  • Short-container-title:Journal of Laser Applications

Author:

Bruening Stephan1ORCID,Du Keming2,Jarczynski Manfred3,Gillner Arnold4

Affiliation:

1. Schepers GmbH & Co. KG, Karl-Benz Str. 7, D-48691 Vreden, Germany

2. Edgewave GmbH, Carlo-Schmid-Str. 19, D-52146 Würselen, Germany

3. LIMO GmbH, Bookenburgweg 4-8, D-44319 Dortmund, Germany

4. Fraunhofer ILT, Steinbach Str. 15, D-52074 Aachen, Germany

Funder

Bundesministerium für Bildung und Forschung

Publisher

Laser Institute of America

Subject

Instrumentation,Biomedical Engineering,Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Cited by 17 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

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