Alternative Spin-On-Glass (SoG) material characterization For Deep-Submicron (<0.35 um) soft reflow fabrication process
Author:
Publisher
IOP Publishing
Subject
General Medicine
Link
http://stacks.iop.org/1757-899X/380/i=1/a=012005/pdf
Reference10 articles.
1. Channel-length effects in quarter-micrometer gate-length GaAs MESFET's
2. Submicrometre lift-off line with T-shaped cross-sectional form
3. 0.2 Micron length T-shaped gate fabrication using angle evaporation
4. Sub-0.5-µm gate doped-channel field-effect transistors with HEMT-like channel using thermally reflowed photoresist and spin-on glass
Cited by 2 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献
1. Tungsten-Disulfide-Based Ultrathin Solar Cells for Space Applications;IEEE Journal of Photovoltaics;2022-09
2. Vibrating Mesh Atomizer for Spin-Spray Deposition;Journal of Microelectromechanical Systems;2021-08
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