Effect of the temperature variation on the hardness and microstructure of TiSiNO coatings obtained by sputtering

Author:

García-González L,López-Huerta F,Araujo-Pérez D J,Zamora-Peredo L,Flores-Ramírez N.,Vásquez García S. R.,Hernández Quiroz T.,Hernández-Torres J

Publisher

IOP Publishing

Subject

General Medicine

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