Focused particle beam nano-machining: the next evolution step towards simulation aided process prediction
Author:
Publisher
IOP Publishing
Subject
Electrical and Electronic Engineering,Mechanical Engineering,Mechanics of Materials,General Materials Science,General Chemistry,Bioengineering
Link
http://stacks.iop.org/0957-4484/26/i=5/a=050501/pdf
Reference50 articles.
1. SRIM – The stopping and range of ions in matter (2010)
2. Abstract: Focused Ion Beams in Microfabrication
3. Study of a field‐ionization source for microprobe applications
4. Abstract: Intense field‐emission ion source of liquid metals
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1. Direct–Write Milling and Deposition with Noble Gases;Helium Ion Microscopy;2016
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