ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПРИМЕСИ РЕНИЯ НА МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ВОЛЬФРАМА МЕТАЛЛИЗАЦИИ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ КРЕМНЕВЫХ ИС-Reference-Cited by-同舟云学术

ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПРИМЕСИ РЕНИЯ НА МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ВОЛЬФРАМА МЕТАЛЛИЗАЦИИ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ КРЕМНЕВЫХ ИС

Published:2023 Issue:4 Volume: Page:51-54
ISSN:2410-9932
Container-title:Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника
language:ru
Short-container-title:Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника

Author:

Шевяков В.И.¹,Тимаков А.В.¹

Affiliation:

1. Научный исследовательский институт Московский институт электронной техники

Abstract

Данная работа посвящена исследованию влияния примеси рения на механические и проводящие свойства тонких пленок вольфрама. Получены результаты исследования адгезивных свойств пленок. Проведено исследование уровня механических напряжений, которое соответствует полученным теоретически данным. Измерено удельное сопротивление для пленок чистого вольфрама и пленок с легирующим рением 5, 10, 15 и 20%. Получены пленки, соответствующие требованиям отраслевых стандартов.

Publisher

Akademizdatcenter Nauka

Reference7 articles.

1. Тимаков А.В., Горностай-Польский В.С., Шевяков В.И. Многоуровневая металлизация высокотемпературных кремниевых ИС на основе вольфрама. Физика и технология. Обзор // Изв. вузов. Электроника. 2023. Т. 28. № 2. С. 164-179. EDN: SIMAWM

2. High-Temperature IC‘s. - Fraunhofer-Institut fU+0026#252;r Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS. URL: www.ims.fraunhofer.de (accessed 20 аugust 2022).

3. High-Temperature-Electronics/Technologies/HT-SOI-CMOS. - Вusiness_Units_and_Core_Competencies. URL www.ims.fraunhofer.de (accessed: 10 аugust 2022).

4. Timakov A.V., Shevyakov V.I. Investigation of the electrophysical and mechanical properties of metallization based on alloys W with Re, Ti, N for high-temperature silicon VLSI // Proc. of SPIE - 2022. Vol. 121571215719-6. (WoS, Scopus.). EDN: VJZNRX

5. Патент РФ RU2775446 C1 // Способ получения тонких металлических пленок на основе вольфрама.