Fixed-Structure, Low-Order Damping and Tracking Control Schemes for Nanopositioning

Author:

Eielsen Arnfinn A.,Vagia Marialena,Gravdahl J. Tommy,Pettersen Kristin Y.

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Medicine

Reference28 articles.

1. Minimizing Scanning Errors in Piezoelectric Stack-Actuated Nanopositioning Platforms;Aphale;IEEE Trans. Nanotechnol.,2008

2. Integral Resonant Control of Collocated Smart Structures;Aphale;Smart Mater. Struct.,2007

3. The Science of Hysteresis, volume 3 of Mathematical modeling and applications.;Bertotti,2005

4. A Review of Feedforward Control Approaches in Nanopositioning for High-Speed SPM;Clayton;J Dyn Syst-T ASME,2009

5. A Survey of Control Issues in Nanopositioning;Devasia;IEEE Trans. Control Syst. Technol.,2007

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