Acid Diffusion at ArF Resist/Si-hardmask Interface-Reference-Cited by-同舟云学术

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Acid Diffusion at ArF Resist/Si-hardmask Interface

Published:2015 Issue:s1 Volume:51 Page:332-335
ISSN:0916-4812
Container-title:Journal of The Adhesion Society of Japan
language:en
Short-container-title:

Author:

Okamura Haruyuki,Miyama Koki,Matsumoto Akikazu,Wakayama Hiroyuki,Nakajima Makoto

Publisher

The Adhesion Society of Japan

Link

https://www.jstage.jst.go.jp/article/adhesion/51/s1/51_s1-f14/_pdf

Reference6 articles.

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1. Principles of Laser Heat-Mode Lithography;Laser Heat-Mode Lithography;2019

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