Energieverteilung der Argon- und Wasserstoffionen aus einer Hochfrequenzionenquelle

Abstract

Die Energieverteilung von A⁺-, H⁺-, H⁺2 - und H3 +-Ionen aus einer Hochfrequenzionenquelle wird — nach Massen getrennt — gemessen und gedeutet. In den Energiespektren treten bis zu acht verschiedene Peaks auf. Untersucht werden Höhe, Energie, Breite und zeitliche Modulation der Energiepeaks in Abhängigkeit von den Betriebsparametern. Die beiden Peaks mit der größten Extraktionsenergie werden von Plasmaionen gebildet, zwei weitere Peaks entstehen im oberen Teil des Raumladegebietes hauptsächlich durch Ionenumladung. Die Aufspaltung der Plasma- und der Raumladepeaks erfolgt durch hochfrequente Schwingungen der Plasmagrenze. Diese bedingen auch eine zeitliche Ionenstrommodulation. Zwei Nebenpeaks rühren von Sekundärelektronenstößen im unteren Teil des Raumladegebietes her; die beiden energieärmsten Peaks entstehen durch Ionenumladung in bzw. hinter dem Extraktionskanal.