An algorithm for profilometry by white-light phase-shifting interferometry

Author:

Sandoz Patrick

Publisher

Informa UK Limited

Subject

Atomic and Molecular Physics, and Optics

Reference13 articles.

1. Born, M. and Wolf, E. 1980.Principles of Optics, sixth edition, 494–499. Oxford: Pergamon.

2. V Phase-Measurement Interferometry Techniques

3. Davidson, M., Kaufman, K., Mazor, I. and Cohen, F. 1987.Proceedings of SPIE, Vol. 775, 233Bellingham, Washington: SPIE. p.

4. Mirau correlation microscope

5. Interferometric profiler for rough surfaces

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