1. 1) B. B. Dayton: Trans. 8th Nati. Vac. Symp., New York, 1961 (Pergamon Press, Oxford, 1962) p. 42.
2. 2) T. Sugimoto, K. Takeyasu and K. Fukutani: J. Vac. Soc. Jpn., 56 (2013) 322.
3. 3) G. Horikoshi: J. Vac. Sci. Technol. A, 5 (1987) 2501.
4. 4) R. J. Elsey: Vacuum, 25 (1975) 299.
5. 5) R. J. Elsey: Vacuum, 25 (1975) 347.