Ion scattering for analysis of surfaces and surface layers

Author:

Buck T. M.,Poate J. M.

Publisher

American Vacuum Society

Subject

General Engineering

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1. References;Vacuum Technology;1990

2. Materials modification with ion beams;Reports on Progress in Physics;1986-05-01

3. The Application of Beam and Diffraction Techniques to Thin Film and Surface Micro-Analysis;Thin Film and Depth Profile Analysis;1984

4. Analysis of surfaces and thin films;Surface Technology;1983-09

5. Sputter Depth Profiling of Microelectronic Structures;Journal of The Electrochemical Society;1983-05-01

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