1. Laboratório de Plasmas Tecnológicos, Instituto de Ciência e Tecnologia de Sorocaba, Universidade Estadual Paulista (UNESP), Sorocaba, 18087-180 SP, Brazil
2. Grupo de Física de Superfícies, Instituto de Física Gleb Wataghin, Universidade Estadual de Campinas, Campinas, 13083-859 SP, Brazil