1. Ätztechnik;Silizium-Halbleitertechnologie;2023
2. Lithografie;Silizium-Halbleitertechnologie;2023
3. Piezoresistive Pressure Sensors;Case Studies in Micromechatronics;2020
4. Ätztechnik;Silizium-Halbleitertechnologie;2018-12-13
5. Lithografie;Silizium-Halbleitertechnologie;2018-12-13