1. Mescheder, U.: Mikrosystemtechnik: Konzepte und Anwendungen. Teubner, Wiesbaden (2004)
2. Seidel, H.: Naßchemische Tiefenätztechnik. In: Heuberger, A. (Hrsg.) Mikromechanik, S. 125–171. Springer, Berlin (1989)
3. Heuberger, A.: Mikromechanik. Springer, Berlin (1991)
4. Ruge, I.: Halbleiter-Technologie, Reihe Halbleiter-Elektronik, Bd. 4. Springer, Berlin (1984)
5. Schumicki, G., Seegebrecht, P.: Prozeßtechnologie. Reihe Mikroelektronik. Springer, Berlin (1991)