The depth resolution of sputter profiling

Author:

Andersen H. H.

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

General Materials Science,General Chemistry,General Engineering

Reference46 articles.

1. HLutz, R.Sizmann: Phys. Lett.5, 113 (1963), see also T.F.Fisher, C.E.Weber. J. Appl. Phys.23, 181 (1952)

2. J.L.Whitton: InPhysics of Ionized Gases 1972, ed. by M. V.Kurepa (The Institute of Physics Beograd 1972), p. 283

3. J.W.Coburn: J. Vac. Sci. Technol.13, 1037 (1976)

4. H.H.Andersen: InPhysics of Ionized Gases 1974, ed. by V. Vujnović (Institute of Physics, Zagreb 1974), p. 361

5. H.Liebl: J. Vac. Sci. Technol.12, 385 (1975)

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