Author:
Shpak M.,Kärhä P.,Ojanen M.,Ikonen E.,Heinonen M.
Publisher
Springer Science and Business Media LLC
Reference16 articles.
1. Sainiemi L., Grigoras K., Kassamakov I., Hanhijärvi K., Aaltonen J., Fan J., Saarela V., Hæggström E., Franssila S.: Sens. Actuators A 149, 305 (2009)
2. M. Blomberg, O. Rusanen, K. Keranen, A. Lehto, A Silicon Microsystem—Miniaturised Infrared Spectrometer, in Proceedings of Transducers ‘97, 9th International Conference on Solid State Sensors and Actuators, vol. 2 (IEEE, 1997), pp. 1257–1258
3. Corman T., Kälvesten E., Huiku M., Weckström K., Meriläinen P.T., Stemme G.: J. Microelectromech. Syst. 9, 509 (2000)
4. Tu J., Howard D., Collins S.D., Smith R.L.: Appl. Opt. 42, 2388 (2003)
5. Fürjes P., Vizváry Z., Ádám M., Morrissey A., Dücső C., Bársony I.: Sens. Actuators A 99, 98 (2002)