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Direct chemical in-depth profile analysis and thickness quantification of nanometer multilayers using pulsed-rf-GD-TOFMS

  • Published:2010-01-16 Issue:8 Volume:396 Page:2881-2887
  • ISSN:1618-2642
  • Container-title:Analytical and Bioanalytical Chemistry
  • language:en
  • Short-container-title:Anal Bioanal Chem

Author:

Valledor R.,Pisonero J.,Bordel N.,Martín J. I.,Quirós C.,Tempez A.,Sanz-Medel A.

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

Biochemistry,Analytical Chemistry

Reference28 articles.

1. Vickerman JC (1998) Surface analysis—the principal techniques. Wiley, Chichester, pp 135–214

2. Marcus RK, Broekaert JAC (2003) Glow discharge plasmas in analytical spectroscopy. John Wiley & Sons Ltd., England

3. Pisonero J, Costa JM, Pereiro R, Bordel N, Sanz-Medel A (2004) Anal Bioanal Chem 379:658–667

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