Plasma chemistry of fluorocarbons as related to plasma etching and plasma polymerization

Author:

Kay Eric,Coburn John,Dilks Alan

Publisher

Springer-Verlag

Reference125 articles.

1. Plasma Diagnostics, Lochte-Holtgreven, W. (ed.)., New York, Elsevier, 1968

2. Plasma Diagnostic Techniques, Huddlestone, R. H., Leonard, S. S. L. (ed.)., New York, Academic Press, 1965

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