1. S. Demuynck, A. Nackaerts, G. Van den Bosch, T. Chiarella, J. Ramos, Z. Tökei, J. Vaes, N. Heylen, G.P. Beyer, M. Van Hove, T. Mandrekar, and R. Schreutelkamp, IITC Proceedings (2006), p. 178.
2. G. Van den Bosch, S. Dmuynck, Z. Tökei, G. Beyer, M. Van Hove, and G. Groeseneken, IEDM Proceedings (2006), p. 4.3.
3. C. Zhao, Z. Tökei, A. Haider, and S. Demuynck, Microelectron. Eng. 84, 2669 (2007).
4. J.C. Chiou, H.I. Wang, and M.C. Chen, J. Electrochem. Soc. 143, 990 (1996).
5. J.C. Chuang and M.C. Chen, Thin Solid Films 322, 213 (1998).