1. T. G. Chung, Y. H. Kim, and J. G. Na, J. Kor. Inst. Met. & Mater. 29, 1097 (1991).
2. K. H. Hwang, K. I. Lee, S. K. Joo, and T. Kang, J. Kor. Associ. Cryst. Grow. 1, 80 (1991).
3. G. E. McGuire, Semiconductor Materials and Process Handbook, p. 587, Noyes Publication (1988).
4. B. S. Min, W. S. Chung, and I. G. Kim, J. Kor. Inst. Met. & Mater. 40, 12 (2002).
5. A. Ibanez and E. Fatas, Surf. Coat. Technol. 191, 7 (2005).