Physical Vapor Deposition

Author:

Yap Yoke Khin,Zhang Dongyan

Publisher

Springer Netherlands

Reference22 articles.

1. Mattox, D.M.: Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing: Film Formation, Adhesion, Surface Preparation and Contamination Control (Hardcover). Noyes, Westwood, N.J (1998)

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