1-D Fluid Modeling of Methane Dissociation in Radiofrequency Capacitively Coupled Plasma

Author:

Gadoum Abdelatif,Benyoucef Djilali,Lahoual Mohamed Habib Allah

Publisher

Springer International Publishing

Reference18 articles.

1. Benyoucef, D., Yousfi, M.: Particle modelling of magnetically confined oxygen plasma in low pressure radio frequency discharge. Phys. Plasmas 22(1), 013510 (2015)

2. Benyoucef, D.: Modélisation particulaire et multidimensionnelle des décharges hors équilibre à basse pression excitées par champs électromagnétiques. Diss. Université de Toulouse, Université Toulouse III-Paul Sabatier, 2011

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