Industrial perspective on focused electron beam-induced processes

Author:

Bret Tristan,Hofmann Thorsten,Edinger Klaus

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

General Materials Science,General Chemistry

Reference26 articles.

1. I. Utke, J. Melngailis, P. Hoffmann, J. Vac. Sci. Technol., B 26(4), 1197–1276 (2008)

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3. T. Bret, Ph. D. manuscript, EPFL thesis no 3321 (2005). Available online from http://infoscience.epfl.ch/record/53644/files/EPFL_TH3321.pdf . Accessed 28 April 2014

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