Stability of flexible composite stamps with thermal nanoimprint-Reference-Cited by-同舟云学术

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Stability of flexible composite stamps with thermal nanoimprint

Published:2018-07-20 Issue:8 Volume:124 Page:
ISSN:0947-8396
Container-title:Applied Physics A
language:en
Short-container-title:Appl. Phys. A

Author:

Papenheim Marc,Eidemüller Wolfgang,Steinberg Christian,Mayer Andre,Götz Johannes,Nees Dieter,Scheer Hella-Christin

Funder

Deutsche Forschungsgemeinschaft

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

General Materials Science,General Chemistry

Link

http://link.springer.com/article/10.1007/s00339-018-1990-x/fulltext.html

Reference29 articles.

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