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Wide range applications of process plasma diagnostics using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy

  • Published:2022-07-01 Issue:1 Volume:6 Page:
  • ISSN:2367-3192
  • Container-title:Reviews of Modern Plasma Physics
  • language:en
  • Short-container-title:Rev. Mod. Plasma Phys.

Author:

Takeda KeigoORCID,Ishikawa Kenji,Hori Masaru

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

General Medicine

Reference106 articles.

1. Y. Abe, S. Kawashima, K. Takeda, M. Sekine, M. Hori, Appl. Phys. Express 3, 106001 (2010)

2. Y. Abe, A. Fukushima, K. Takeda, H. Kondo, K. Ishikawa, M. Sekine, M. Hori, Appl. Phys. Lett. 101, 172109 (2012)

3. Y. Abe, A. Fukushima, K. Takeda, H. Kondo, K. Ishikawa, M. Sekine, M. Hori, J. Appl. Phys. 113, 013303 (2013)

4. A. Agarwal, M.J. Kushner, J. Vac. Sci. Technol. A 26, 498 (2008)

5. J.P. Booth, N. Sadeghi, J. Appl. Phys. 70, 611 (1991)

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