CMOS-MEMS Resonators and Oscillators : A Review
Author:
Publisher
MYU K.K.
Subject
General Materials Science,Instrumentation
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1. A coupled-mode analysis of mode localization on weakly-coupled silicon micromechanical resonators with damping;Sensors and Actuators A: Physical;2024-11
2. Study of Self-Excited Thermomechanical Oscillator with Shape Memory Alloys;Actuators;2024-05-11
3. Adaptive frequency-stabilization of MEMS oscillators using mode coupling;Journal of Micromechanics and Microengineering;2024-05-09
4. A high precision CMOS temperature sensor for MEMS oscillator;IEICE Electronics Express;2023-12-25
5. High-Order Modes of Thin Film Amorphous Silicon Coupled Disk Resonator Arrays;Journal of Microelectromechanical Systems;2023-12
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