1. 1) J. A. Walker, K. J. Gabriel and M. Mehregany: Sensors and Actuators, A21-23 (1990), 243.
2. 2) K. Kuribayashi, M. Yoshitake and S. Ogawa: Proc. Micro Electro Mechanical Systems (MEMS-90) (1990), p. 217.
3. 3) D. J. Bush and A. D. Johnson: ibid., p. 40.
4. 4) K. Ikuta, H. Fujita, M. Ikeda and S. Yamashita: ibid., p. 38.
5. 5) L. Chang, C. H. Simpson, D. S. Grummon, W. Pratt and R. Loloee: Proc. Mat. Res. Soc. Symp., 187 (1990), p. 137.