Publisher
Japan Society for Precision Engineering
Reference9 articles.
1. 1) H. Ohmori and T. Nakagawa : Mirror Surface Grinding of Silicon Wafers with Electrolytic In-Process Dressing, Annals of CIRP, 39, 1 (1990) 329.
2. 2) 大森整：超精密鏡面加工に対応した電解インプロセスドレッシング (ELID) 研削法, 精密工学会誌, 59, 9 (1993) 1451.
3. 3) 大森整：ELID研削加工技術―基礎開発から実用ノウハウまで―, 工業調査会 (2000).
4. 4) H. Ohmori, I.D. Marinescu and K. Katahira : Electrolytic In-Process Dressing (ELID) Technologies : Fundamentals and Applications, CRC Press, NY (2011).
5. 5) 大森整, 金允智, 上原嘉宏, 春日博, 小野照子, 林偉民, 黒河周平, 梅津信二郎：ELID研削とポリシングを連携させたピコプレシジョン加工の試み, 精密工学会誌, 85, 4 (2019) 304.