気体の計測制御技術をベースとした超精密機器の運動制御

Author:

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference13 articles.

1. 1) T. Kato, G. Higashijima, T. Yazawa, T. Otsubo and K. Tanaka : Proposal of Disturbance-Compensating and Energy-Saving Control Method of Air Turbine Spindle and Evaluation of Its Energy Consumption, Precision Engineering, 43, (2016) 439.

2. 2) T. Kato, T. Otsubo, K. Shimazaki, S. Matsuguchi, Y. Okamoto and T. Yazawa : Tool wear estimation method in milling process using air turbine spindle rotation-control system equipped with disturbance force observer, International Journal of Hydromechatronics, 1, 4 (2019) 384.

3. 3) V. Kaewnamchai, T. Kato, K. Kawakubo and K. Yamashita : Magnetic Sensor Study for Improving Air Turbine Spindle Performance, Proceedings of the 11th JFPS International Symposium on Fluid Power (2021) GS5-1-01.

4. 4) 築山義信, 加藤友規, 中垣瞬, 徐有衛:電空ハイブリッド超精密鉛直位置決め装置のバランスシリンダ内圧のフィードフォワード制御, 日本フルードパワーシステム学会論文集, 50, 1 (2019) 18.

5. 5) T. Kato, Y. Xu, T. Tanaka and K. Shimazaki : Force Control for Ultraprecision Hybrid Electric-Pneumatic Vertical-positioning Device, International Journal of Hydromechatronics, 4, 2 (2021) 185.

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