1. 1) R. Brodmann and W. Smilga : In-process Optical Metrology for Precision Machining, Proc. SPIE 802 (1987) 165.
2. 2) 三井公之,坂井誠,木塚慶次,小沢則光,河野闘男:高感度非接触粗さ計の開発,精密工学会誌,53,2 (1987) 328.
3. High precision optical surface sensor
4. 4) A. J. C. Brown : High speed optical measurement of 3D surfaces, Proc. SPIE, 2008 (1992) 150.
5. 5) 真下寛治,北林秀也,谷村吉久:3次元自由曲面形状の光非接触測定装置,精密工学会誌,59,7 (1993) 1091.