Characterization of Polycrystalline Silicon Films Fabricated by Atmospheric Pressure Plasma CVD with Rotary Electrode

Author:

MORI Yuzo,YOSHII Kumayasu,YASUTAKE Kiyoshi,KAKIUCHI Hiroaki,OHMI Hiromasa,NAKAHAMA Yasuji,EBATA Yusuke

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Reference15 articles.

1. Control of Si Solid Phase Nucleation by Surface Steps for High-Performance Thin-Film Transistors

2. 2) 松村正清 : 次世代Si薄膜デバイスを目指した超巨大結晶粒径形成法, 信学技報, ED2000-9, SDM2000-9 (2000) 1.

3. 3) V. Subramanian, P. Dankoski, L. Degertekin, B.T.Khuri-Yakub, and K. Saraswa : Controlled Two-Step Solid-Phase Crystallization for High-Performance Polysilicon TFT's, IEEE Electron Device Lett., 18 (1997) 378.

4. 4) J. M. Poate and J. W. Mayer : Laser annealing of semiconductors, Academic, New York,(1982) or R. F. Wood, C. W. White and R. T. Young : Pulsed Laser Processing of Semiconductors, Vo.23 of the semiconductors and semimetals series, Academic, New York, (1984).

5. 5) 波多野睦子,山口伸也,朴 成基,田井光春,本郷幹雄,野田剛史,芝 健夫,大倉 理:高性能TFT対応低温poly-Si結晶化技術 (SELAX法) I:プロセス,第49回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, (2002) 875.

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